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电力半导体器件工艺用高纯水


  电力半导体器件工艺用高纯水

   1 、主题内容与通用范围

  本标准给出了电力半导体器件工艺用高纯水(以下称高纯水)的级别、技术要求、测试方法和规则。

  本标准适用于去离子处理后的高纯水。

  2 、引用标准:GB11446电子级水及其检测方法。

  3 、术语

  3.1 电导率 Electrical conductivity

  在规定温度下,1cm3水溶液两相对面之间测得的电阻值的倒数。电导率通常以μS/cm为单位。

  纯水的理论电导率为0.05482 μs/cm (25℃时)。

  3.2 电阻率 Resistivity,电导率之倒数。

  纯水的理论电阻率为18.248 MΩ.cm (25℃时)。温度升高时电阻率下降。

  3.3 总溶解性固体 Total dissolved solids(TDS)

  水中溶解物质的总含量,包括钙镁离子、胶体、悬浮颗粒物、蛋白质、病毒、细菌、微生物及尸体。TDS通常以mg/L或ppm为单位。

  3.4 总硬度(DH值)

  水总硬度是指水中Ca2+、Mg2+的总量。

硬度一般以德国标示法为准,计为DH。即以每升水含氧化钙10mg为1DH。小于8DH为软水、大于17DH为硬水。

  

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